Introduction
En Chine, la recherche et la fabrication de moteurs linéaires remontent à la fin des années 1950. Il est principalement basé sur les produits utilisés ou développés par les collèges et les universités et les instituts de recherche scientifique pour étudier certains appareils ; notre pays a commencé à produire en série des moteurs linéaires de la fin des années 1960 au début des années 1970, qui ont été mis en service dans diverses industries au début des années 1970 ; la production et la recherche de moteurs linéaires ont réalisé des percées du milieu des années 1970 au milieu des années 1980 ; les produits finis étaient en phase de développement et de nouvelles variétés de moteurs électriques à haute performance sont constamment développées. Depuis le milieu des années 1980, de nombreux travaux de recherche ont été effectués sur le modèle précis des moteurs linéaires, et divers moteurs et entraînements linéaires hybrides ont été largement utilisés comme produits. Depuis plus de 20 ans, Les moteurs linéaires à entraînement direct ont considérablement amélioré les performances dans de nombreuses applications, y compris de nombreuses applications industrielles de haute technologie. Aujourd'hui, la technologie d'entraînement direct est une solution avancée pour la productivité élevée, la haute précision et les performances dynamiques des machines modernes.
Dans la vraie vie, nos moteurs courants sont essentiellement des moteurs à induction à mouvement rotatif, largement utilisés dans les appareils électroménagers, les automobiles, les équipements industriels et d'autres industries. Le principe des moteurs linéaires peut être compris comme un moteur à induction à mouvement rotatif, le couper dans le sens du diamètre et l'aplatir en un moteur linéaire. En prenant le moteur à induction à mouvement rotatif comme référence, dans un moteur linéaire, il équivaut à l'enroulement du stator du moteur rotatif (appelé primaire); et il équivaut au rotor d'écureuil du moteur rotatif (appelé le secondaire), et la surface secondaire est équipée d'aimants permanents. Si le secondaire est fixe, le primaire laisse passer le courant alternatif et se déplace en ligne droite le long du secondaire sous l'action de la force électromagnétique. Au contraire,
Le moteur linéaire est un moteur synchrone sans balai et le moteur linéaire commun est une structure plate ou une structure circulaire. Par interaction d'induction électromagnétique entre le primaire (enroulement de bobine) et le secondaire (aimant permanent), l'énergie électrique peut être efficacement convertie en énergie mécanique de mouvement linéaire. Étant donné que les moteurs linéaires peuvent générer une force importante à basse vitesse même à l'arrêt, dans la définition des spécifications du moteur, la force continue et la force de pointe sont principalement définies, plutôt que la puissance et le couple comme les moteurs traditionnels sont définis. Les trous de montage des pièces mobiles du moteur linéaire plat peuvent être directement connectés à la charge de la machine, ce qui peut rendre la machine compacte, simplifier la conception de la structure de la machine, sans jeu, et n'aura pas de pièces défectueuses avec d'autres mécanismes de transmission, telles que les vis à billes de guidage linéaire servo Levier, accouplement, courroie ou autres pièces de transmission mécaniques. Enfin, les systèmes de mouvement à moteur linéaire ont une bande passante plus large et une rigidité plus élevée, ce qui se traduit par une précision et une répétabilité élevées à des vitesses élevées. Sur la base des avantages ci-dessus, les moteurs linéaires peuvent être largement utilisés et développés dans diverses grandes industries.
Plusieurs structures courantes de moteurs linéaires
Moteur linéaire à noyau de fer, moteur linéaire sans fer, moteur linéaire sans fente, moteur linéaire à axe magnétique (moteur à bobine mobile), moteur linéaire tubulaire.
Introduction à l'industrie des semi-conducteurs
Affectée par l'économie mondiale et l'épidémie, la pénurie de puces est devenue un problème important dans diverses industries. Par conséquent, l'industrie des semi-conducteurs est l'une des industries à développement rapide ces dernières années, et c'est l'un des sujets brûlants de l'industrie scientifique et technologique. Sous la tendance de l'information mondiale, l'industrie de l'information est devenue un pilier industriel extrêmement important de l'économie mondiale, et l'industrie des semi-conducteurs est équivalente au cœur de l'industrie de l'information. L'industrie des semi-conducteurs est devenue une partie importante de la vie des gens. À l'heure actuelle, les composants semi-conducteurs sont devenus des éléments indispensables dans des industries telles que l'automobile, les appareils électroménagers, les téléphones portables et les équipements industriels intelligents.
D'après le résumé de diverses informations, nous savons que les matériaux et équipements semi-conducteurs soutiennent l'industrie des semi-conducteurs et qu'ils sont devenus la priorité absolue dans le cadre des relations commerciales internationales actuelles. L'équipement semi-conducteur est lié à la technologie de traitement des semi-conducteurs. À l'heure actuelle, la technologie de traitement relativement mature a une capacité de production restreinte. Bénéficiant de la forte demande dans de nouveaux domaines tels que les mégadonnées, la technologie 5G, la conduite intelligente, les véhicules à énergie nouvelle et l'IA, le marché de la fabrication de plaquettes a multiplié la croissance et les processus de fabrication avancés joueront un rôle important, d'où des exigences plus élevées. sur les équipements semi-conducteurs.
L'ensemble du processus de traitement des produits semi-conducteurs est relativement complexe, y compris divers traitements précis, notamment la fabrication de plaquettes (Front-End) et le test d'emballage (Back-End). Avec une technologie d'emballage avancée, le lien de traitement entre la fabrication et l'emballage s'appelle le Middle-End.
La ligne de production de plaquettes peut être divisée en sept zones de production indépendantes : Processus thermique, Photo-lithographie, Gravure, Dépôt diélectrique, CMP, Métallisation.
Les tests d'emballage traditionnels (back-end) sont grossièrement divisés en huit processus de production, y compris l'amincissement de l'arrière, la découpe de tranches, le SMD, le soudage par fil, le moulage, la galvanoplastie, la découpe, le formage et les tests finaux. Simple, moins difficile techniquement et moins exigeant que la fabrication de plaquettes pour l'environnement de processus, l'équipement et les matériaux.
En raison des nombreuses étapes de traitement des produits semi-conducteurs, un grand nombre d'équipements semi-conducteurs sont nécessaires dans le processus de fabrication, tels que des machines de lithographie, des machines de gravure, des emballages et des tests de films plastiques, des machines de soudage de fils, des machines de soudage de matrices et des machines de tri, et machine de marquage laser, machine à découper en dés, etc. la transmission et son contrôle ont des caractéristiques dynamiques et une précision de contrôle plus élevées, une vitesse et une accélération plus élevées et une usure et une déchirure plus faibles.
Par conséquent, les moteurs linéaires de haute précision et de haute répétabilité sont plus adaptés pour devenir des pièces importantes dans les équipements de traitement des semi-conducteurs.
Application du moteur linéaire
Les moteurs linéaires ont été appliqués à différents degrés dans différents domaines de traitement et de fabrication. Dans le même temps, ils offrent plus d'options de processus pour diverses méthodes de traitement, participent directement ou indirectement aux changements technologiques. En d'autres termes, les moteurs linéaires répondent également aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs, la technologie des moteurs linéaires peut améliorer les performances des équipements à semi-conducteurs. L'industrie des semi-conducteurs a introduit depuis longtemps l'application des moteurs linéaires en raison de leurs caractéristiques de mouvements de positionnement et de rotations fréquentes. L'équipement semi-conducteur peut contenir un étage de moteur linéaire ou plusieurs modules de moteur linéaire, afin de répondre à différentes instructions de fonctionnement et de terminer la production de composants semi-conducteurs.
Applications principalement :
1. Étape d'axe XZ dans une machine de montage de haute précision à grande vitesse - Le moteur linéaire de type U est utilisé pour le positionnement de l'axe X, et le moteur à bobine mobile est utilisé pour l'axe Z pour sélectionner et placer rapidement les puces, il convient aux équipements qui nécessitent contrôle des forces. L'application du moteur linéaire peut répondre aux exigences d'accélération élevée, de vitesse élevée, de haute précision et de haute fréquence.
2. L'étage de l'axe XY dans la matrice de liaison est l'équipement clé pour le processus d'emballage ultérieur du semi-conducteur, qui réalise le prélèvement automatique de la matrice à partir de la plaquette et le place sur la grille de connexion. En raison des exigences de processus et d'efficacité, les axes XY ont une vitesse de mouvement et une accélération extrêmement élevées. Les moteurs linéaires des deux côtés sont utilisés pour le positionnement de l'axe X et la position de la plaquette est utilisée pour le positionnement de l'axe Y.
3. Étape d'axe XYZ dans la machine de liaison par fil , le système de moteur linéaire est utilisé dans la machine de liaison par fil qui fournit un mouvement à grande vitesse le long de différents X-aix, Y-aix, Z-aix, et le moteur linéaire a une longue course, qui peut fournir une plate-forme de soudage par fil plus grande pour répondre au large éventail de besoins de soudage.
4 . Moteur linéaire et moteur à bobine mobile double étage de pièce dans une machine de lithographie , le moteur linéaire est l'un des systèmes de base de la machine de lithographie, la fonction principale est de transporter la plaquette pour effectuer un mouvement ultra-précis à grande vitesse selon la trajectoire de mouvement spécifiée, y compris le chargement et le déchargement, l'alignement, la mesure du profil de la plaquette et l'exposition, etc. La machine de lithographie a deux tables de pièces, c'est-à-dire qu'il y a deux tables de pièces qui transportent des tranches dans une machine de lithographie. Les deux tables porte-pièces sont indépendantes l'une de l'autre, mais fonctionnent en même temps. Lorsque la plaquette sur une table de pièce est exposée, l'autre table de pièce effectue un travail de préparation avant l'exposition, comme la mesure de la plaquette. Lorsque l'exposition est terminée, les deux tables porte-pièces échangent leurs positions et leurs fonctions, et permettent ainsi d'atteindre une productivité élevée de la machine de lithographie en cercles.
En plus des domaines d'application mentionnés ci-dessus, les moteurs linéaires sont également largement utilisés dans divers équipements à semi-conducteurs, tels que les perceuses de circuits imprimés, les robots de manipulation de tranches de semi-conducteurs, les plates-formes de polissage de tranches de semi-conducteurs, la découpe de tranches, les tests de tranches, l'emballage de tranches, etc. Il peut être considère que les moteurs linéaires sont déjà une partie importante des équipements à semi-conducteurs.
Sommaire
Avec le développement rapide de l'industrie des semi-conducteurs, la demande de composants semi-conducteurs a également continué de croître avec des exigences diversifiées, et il y aura des exigences plus élevées pour les équipements semi-conducteurs ; Les moteurs linéaires et les étages de moteur ont fourni des performances à grande vitesse et à haute répétabilité dans les équipements à semi-conducteurs, favorisant ainsi le développement de l'industrie des semi-conducteurs.
